Barisan pengeluaran salutan ialah peralatan teras untuk rawatan permukaan substrat, menggunakan kaedah fizikal atau kimia untuk pengeluaran besar-besaran yang cekap. Ia digunakan dalam bidang elektronik, automotif, optik dan tenaga baharu.
1. Semikonduktor Menegak Berterusan Magnetron Sputtering Salutan Barisan Pengeluaran
Ciri-ciri: Operasi automatik sepenuhnya, menyokong pemantauan jauh; penyusuan rak bahan kerja automatik untuk kecekapan pengeluaran yang lebih tinggi; reka bentuk struktur sasaran meningkatkan penggunaan dan menghasilkan sputtering yang lebih seragam; sistem pengionan substrat memastikan lekatan filem yang lebih kuat.
Aplikasi: Digunakan dalam sel fotovoltaik, plat bipolar sel bahan api hidrogen, kaca konduktif ITO, paparan automotif dan papan litar seramik.
2. Kapasitor Seramik Mendatar Berterusan Magnetron Sputtering Salutan Barisan Pengeluaran
Ciri-ciri: Kawalan automatik sepenuhnya oleh komputer industri; pengangkutan rak bahan kerja automatik; struktur sasaran dioptimumkan untuk salutan lubang-ke-lubang; keseragaman sputtering yang tinggi; sistem pengionan substrat meningkatkan kualiti filem.
Aplikasi: Digunakan dalam kapasitor pelekap permukaan dan-perintang filem nipis.
3. Barisan Pengeluaran Salutan Magnetron Berterusan Mendatar DPC
Ciri-ciri: Pengeluaran automatik sepenuhnya; 288 keping sejam; salutan-dua sisi memastikan keseragaman; medan magnet yang dioptimumkan meningkat melalui kesan pengisian; kekonduksian yang lebih baik dan kecekapan pelesapan haba.
Aplikasi: Digunakan dalam peranti semikonduktor seperti substrat seramik, kapasitor seramik dan pendakap seramik LED.
